在高频淬火机上，齿轮的制作材料和热处理工艺对其承载能力和尺寸重量影响很大。五十年代以前，齿轮多用碳钢，六十年代改为合金钢，七十年代改为表面硬化钢。根据硬度，齿面可区分为两种：软齿和硬齿。

软齿轮承载能力低，但加工加工容易，跑合性好，多用于一般高频淬火小批量生产而不受传动尺寸和重量的严格限制。由于在成对齿轮中，小轮组负荷较重，所以为了使大小齿轮工作寿命大致相等，小轮组的齿面硬度一般比大轮组高。

硬齿面齿轮承载能力强，可在齿轮精切后，通过淬火、表面淬火或渗碳淬火来提高其硬度。由于高频淬火热处理过程中齿轮不可避免地会产生变形，为了消除变形带来的误差，提高齿轮的加工精度，需要对齿轮进行研磨、研磨或精切。